扫描电子显微镜
原子力显微镜
超声波影像装置
分光光度计
锂电池异物分析
断面观察用超声波切割仪/离子研磨仪
X射线荧光镀层厚度测量仪
原子吸收分光光度计
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电化学分析设备
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液相色谱仪/高效全自动氨基酸分析仪
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反射式膜厚测量分析系统
反射式膜厚仪/光谱椭偏仪
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半导体行业解决方案
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HITACHI 全自动型原子力显微镜 AFM5500M
AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。并且搭载了最新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。
HITACHI 超声波影像装置
使用超声波非破坏获得半导体封装、电子零部件、陶瓷、金属树脂零部件等的内部孔隙，裂纹，剥离等缺陷影像的装置。X射线装置、红外线检查装置、光学显微镜检查不出来的纳米级缝隙也能检测出来。
HITACHI 紫外/可见/近红外分光光度计 UH4150/UH4150AD+
由于切换检测波长时会产生小的信号差异，UH4150可实现高精度的测定。日立棱镜-光栅（P-G）双单色器的光学系统可实现低杂散光和低偏振，被广泛应用于智能手机和自动驾驶等行业领域。
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