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SR-RD-STD反射式膜厚仪
利用光学干涉原理,通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱,快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。
SE-RD-STD光谱椭偏仪
设备针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度、快速摄谱型光谱椭偏仪,波长范围覆盖紫外、可见到红外。仪器基于高灵敏度光谱探测单元和光谱椭偏仪分析软件。SE-RD-STD 拥有强大的材料数据库,极其容易建立或更改一个测量 Recipe。只需按照名称选取材料,就能够更改基底、环境和膜层的光学常数。
Iso 认可的完全非接触点( 先端 0.5um)自动对焦测量方法,提高数据的客观性,兼具高分辨率及高精密载台的标准广范围高速测量系统,适用于透镜的表面缺陷、模塑产品的形状缺陷以及摩擦学磨损与划痕的定量评估,适用领域:学术单位、精密加工、精密冲压、面板、半导体、医疗、电子零件。
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